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製品

成膜/洗浄/表面処理

超高濃度クリーンオゾナイザ OZCシリーズ

製造:株式会社荏原製作所 / 日本

放電原理によるオゾンガスの発生装置です。
無声放電と沿面放電の複合放電により超高濃度のオゾンを生成します。

製品の特長

  • ・超高濃度(10vol%以上)・大流量 のオゾンを安定して発生
    ・電極にセラミックスコーティングと誘電体にサファイアを採用し、超クリーンオゾンの発生を実現
    ・飛躍的に大きな単位 面積当たりのオゾン発生量により、オゾナイザの小形化を達成
    ・オゾン漏れセンサを標準装備(OZC-4/2以上)
    注)脱イオン水(3μ s/cm以下・20℃)をご用意下さい。
    (冷水供給装置はオプション)

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