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製品

洗浄

ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ

製造:株式会社荏原製作所 / 日本

PJシリーズは超純水による枚葉式ウェーハジェット洗浄を対象とした高圧プランジャポンプです。ポンプ内面 に電解研磨を施す事より、表面が清浄に保たれます。また、簡潔な構造により、超純水に触れる部分をできるだけ少なくするとともに、シール部から発生するパーティクルがジェット水に混入しないように工夫されています。

製品の特長

  • ・シンプル構造
     ウェーハ1枚の洗浄は1ストロークの動作で行います。シンプルな構造とマイルドな動作により、パーティクルの発生を抑えています。
    ・クリーンシール
    ダスト防止ワイパは、高圧シール部で発生するパーティクルが吐出し水に混入することを防止します。
    ・キープクリーン
    オーバーフロー機構によってポンプ停止中もポンプ内は新鮮な水で満たされます。また、水の停留がないためバクテリアの発生が防止でき、長期停止後の立ち上がり時間が短縮できます。
    ・容易なメンテナンス
    クリーンな吐出し水はフィルタ交換の手間がかかりません。

フロー図

製品の仕様

ポンプ吐出し圧力:
5MPa
10MPa
吐出し流量 :
50mL(max)
/ストローク
必要空気圧力:
0.4MPa
外形寸法
200w×410D×
270Hmm

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