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製品

成膜/検査・測定/表面処理

クリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージ

製造:東京電子株式会社 / 日本

CC-10は最新のセンサー技術を取り入れ、クリスタルゲージとコールドカソードゲージの組み合わせによる12桁の圧力範囲(1.0×10-7 ~1.0×105 [Pa])の連続測定を可能とした真空計です。

製品の特長

  •  ・大気圧から高真空まで測定可能
      大気圧から低真空領域はクリスタルゲージにて、高真空領域はコールドカソードゲージにて測定。(自動切換え)
     ・デジタル通信 RS485を標準装備
     ・センサー回路部、ディスプレー一体型
      本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。

製品の仕様

型番

CC-10

測定範囲

1.0×10-7 ~1.0×105 [Pa]

センサー

クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ 

表示

7セグメントLED

アナログ出力

DC 0~10[V] log出力または複合出力から選択

セットポイント

3点(1点独立、2点はコモン共通) 接点容量;DC50V、0.12[A]

ディジタルインターフェイス

RS485 

フランジ

NW25、またはICF70 

電源電圧

DC22~26[V] 

動作時周囲温度

0~50[℃]

ベーキング温度

MAX 100℃(回路部を取り外すこと)

外形寸法

94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm](NW25)94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm](ICF70) 突起部は除く

重量

840[g] (NW25) 1060[g] (ICF70)

オプション

CC-10専用表示器、アダプタセット1(AC100[V]からCC-10本体への電源供給用)、アダプタセット2(AC100[V]からCC-10本体、専用表示器への電源供給用)

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