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製品

成膜/検査・測定/表面処理

コンベクションピラニゲージ/ピラニゲージ

製造:東京電子株式会社 / 日本

低真空領域から中真空領域まで測定に適したコンベクションピラニーゲージ及びピラニーゲージです。

製品の仕様

コンベクションピラニーゲージ VG-10
測定範囲 1.4×10-1 [Pa] ~ 1.0×105 [Pa]
出力信号 (a) 制御出力
・リレー接点出力容量AC125Vmax、1Amax
(設定値より圧力が低いとき出力ONとなる)
・設定範囲の任意の2点において設定可能(b) アナログ出力 0~5V F.S.
・1V/1桁(-3V~+3V…+2V…+8V)
使用温度 温度-10~60℃、湿度10~80%
電源 AC85~260V
外形寸法 96(W)×96(H)×209(D) [mm] (但し、突起部は除く)
測定子 型式 S-251(NW-16)
製品構成 本体、測定子、センサーケーブル、電源ケーブル
ピラニーゲージ PG-20/PG-30
測定範囲 1.0×10-1 [Pa] ~ 1.0×104 [Pa]
出力信号 (a) 制御出力
・リレー接点出力容量 AC100V Max、1A Max
(設定値より圧力が低いとき出力ONとなる)
・設定範囲デジタル表示範囲の任意の2点において設定可能(b) アナログ出力
・0~5V F.S(1V/1桁)
・出力インピーダンス 1KΩ
使用温度 温度5~40℃、湿度90%以下(結露せぬこと)
電源 PG-20:AC85~132V、12VA以下(AC100V、50/60Hz)
PG-30:DC24V 10% 8W以下
外形寸法 96(W)×96(H)×120(D) [mm] (但し、突起部は除く)
測定子 型式 S-212(φ15/φ18) 他
製品構成 本体、測定子、センサーケーブル、電源ケーブル(PG-20のみ)

産機三部

TEL:03-5472-1743 FAX:03-5472-1720

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