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製品

その他/成膜/検査・測定/表面処理

空冷小型ドライポンプ

製造:株式会社荏原製作所 / 日本

業界最小・最軽量級 空冷ドライポンプ真空です。スクロールポンプや油回転ポンプからの置き換えに最適です。

製品の特長

  • 1. 軽量(作業性重視の20Kg以下)
    2. 空冷式/オイルフリー/
    3. 長寿命(非接触ロータ採用によるシール交換不要)
    4. 低振動/低騒音

製品の適用例

理化学機器、電子顕微鏡、各種分析機器、ロードロック・スパッタリング等クリーン真空排気

製品の仕様

仕様 単位 機名 注記
PDV250 PDV500
最大排気速度 L/Min
m3/h
230
14
500
30
50/60Hz共用
到達圧力 Pa 0.5 0.5
消費電力 W 240
(380)
300
(600)
到達運転時データ
(カッコ内は最大値)
吸気口径 NW25 NW40
排気口径 NW25
騒音値 dB(A) <58
概略質量 Kg 15 20
電源(相/電圧) 単相90-250V 自動認識機能
外形寸法WxDxH mm 168x442x273 185x467x305 突起部含まず

 

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