株式会社マツボー

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製品

その他/洗浄

薬液ヒータ

製造:株式会社セラ / 日本

半導体、液晶業界のプロセスに欠かせない薬液用ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。縦置き型、横置き型が選択可能で各種ヒーター容量を取り揃えております。

製品の特長

  • ・接液部は全てPFAの為、不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。
    ・発熱体含む構成部品は長寿命。
    ・運転温度及び圧力は150℃×0.4Mpa

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