株式会社マツボー

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製品

洗浄

超純水ヒータ

製造:株式会社セラ / 日本

半導体製造プロセス向け超純水ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。高熱効率、純水最高温度95℃が特徴です。

製品の特長

  • ◆接液部は全てPFAの為、不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。
    ◆発熱体含む構成部品は長寿命。
    ◆運転温度及び圧力は95℃ × 0.4Mpa

製品の仕様

型式

EHS

ヒーター容量

25~150Kw

純水温度

MAX 95℃

温度制御

PID制御

温調制度

±1℃(定流量時)

使用圧力

MAX 0.4MPa

主要材質

接液部/PFA  その他要部SUS304

保護及び警報

水温異常加熱 発熱体過熱 漏水 フロー検知 空炊き

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