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製品

成膜

常圧エアゾール式コーター / 薄膜を均一に高速コーティング、量産機へのスケールアップが可能

製造:Beneq社 / フィンランド

TCO(透明導電酸化)膜の量産向けコーティングに開発された独自技術により、常温で薄い液フィルムのコーティングが可能  

ラインナップ

<ACS 200> 研究開発装置
■コーティング均一性:±3%以内(標準材料)
■コーティング厚:10~500nm(乾燥後)
■サンプルサイズ:200 x 200 mmまで
■材料使用効率:95%まで可能
■材料供給:独立2系統
■800 x 1,400mm基板プロセスまでスケールアップ可能

 

 

他手法との違い

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