お問い合わせ先電話番号: 【産機二部　情報グループ】
TEL：03-5472-1722; この製品のお問い合わせはこちら

製品

成膜／検査・測定／表面処理

イオンエネルギー測定器

製造：Impedans / アイルランド

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

メーカーサイトカタログPDF

製品の特長

・検出プローブは電極/基板ホルダーに取付けできます。
・300 ミリトール以内の圧力下で、500 eV までのエネルギーの測定が可能です。
・500 kHz までのパルスシステムの時間分解測定を44 ns のステップ分解能で検出できます。
・検出プローブはポータブル式で、複数のチャンバーへ容易に取付けができます。
・各種のバイアス条件で測定ができます。(シングル、デュアル、マルチの周波数)
- フローティング
- DC
- パルスDC
- RF