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真空成膜装置

ハードディスク製造専用のスパッター装置に加え最新式の潤滑油塗布装置をご紹介致します。

ハードディスク用スパッター装置

ハードディスク用スパッター装置

米国Intevac社のハードディスク専用のスパッター装置であり、全世界で60%以上のシェアを誇るマーケットリーダー的装置です。

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イオンエネルギー測定器

イオンエネルギー測定器

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

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デスクトップ型の小型スパッタリング装置

デスクトップ型の小型スパッタリング装置 / デスクトッププロ

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

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