真空成膜装置

ハードディスク製造専用のスパッター装置に加え最新式の潤滑油塗布装置をご紹介致します。

米国Intevac社のハードディスク専用のスパッター装置であり、全世界で60%以上のシェアを誇るマーケットリーダー的装置です。

Intevac社のAccuLuberは、潤滑剤を真空内にて蒸着する装置です。溶剤を使用しないため環境に優しく、ディップ装置に比べ年間15万ドル以上のコストダウンが可能です。膜厚分布に優れ、高いスループットを特長とします。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- イオンカレント
- エレクトロンフラックスとエネルギー

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

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