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第34回ドライプロセス国際シンポジウム(DPS2012)
| 展示会名 | 第34回ドライプロセス国際シンポジウム(DPS2012) |
|---|---|
| 展示会URL | http://www.dry-process.org/2012/index.html |
| 会期 | 2012年11月15日（木）～16日（金） |
| 会場 | 東京大学 武田先端知ビル 武田ホール |
| 会場所在地 | 東京都文京区弥生2-11-16 |
| 出展小間番号 | 武田ホールホワイエポスター会場 |
| 入場料 | 無料 |
| 主催 | 応用物理学会 |
| 出展内容 | ・イオンエネルギー、イオンフラックス測定ツール(アイルランド Impedans社） |
| お問合せ先 | 精密機器部 TEL：03-5472-1728 |
| その他 | プラズマプロセス中のウエハーステージにセンサプローブをセットすることで 実プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。 Impedans(インピーダンス)社は、2004年設立の会社でアイルランド タブリンの |