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第34回ドライプロセス国際シンポジウム(DPS2012)

展示会名 第34回ドライプロセス国際シンポジウム(DPS2012)
展示会URL http://www.dry-process.org/2012/index.html
会期 2012年11月15日(木)~16日(金)
会場 東京大学 武田先端知ビル 武田ホール
会場所在地 東京都文京区弥生2-11-16
出展小間番号 武田ホールホワイエポスター会場
入場料 無料
主催 応用物理学会
出展内容 ・イオンエネルギー、イオンフラックス測定ツール(アイルランド Impedans社)
お問合せ先 精密機器部
TEL:03-5472-1728
その他 プラズマプロセス中のウエハーステージにセンサプローブをセットすることで
実プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。

Impedans(インピーダンス)社は、2004年設立の会社でアイルランド タブリンの
DCU(Dublin City University)の発明センター出身の会社です。
プラズマ状態の測定に40以上の科学機器の文献を発表し、10以上のUSパテントを
保有しております。
本測定器は、国内にも多数販売実績がございます。