株式会社マツボー

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VACUUM 2012 - 真空展

展示会名 VACUUM 2012 - 真空展
展示会URL http://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
会期 2012年10月17日(水)~19日(金)
会場 東京ビッグサイト 東ホール
会場所在地 東京都江東区有明3-11-1
出展小間番号 V15
入場料 無料 (全来場者登録入場制。入場時登録、或いはWebにて事前登録可能)
主催 日本真空工業会/一般社団法人日本真空学会
出展内容 ・SCI社 ロータリーカソード ★
・PMI社 円筒ターゲット
・Beneq社 原子層堆積(ALD)装置
・DTF社 フラッシュランプアニーリング装置
・TST社 UVランプ ★
・Hansol社 サファイア基盤 ★
・NAGY社 非接触表面抵抗測定器 ★
・Impedance社 イオンエネルギー・イオンフラックス測定ツール ★
他、成膜関連装置

★印の製品は実機展示を予定しております。

お問合せ先 情報機器部第一課
TEL:03-5472-1722
その他 世界で実績を上げている海外メーカー製品の実機及びパネルを多数展示します。
成膜に関わる装置・コンポーネント・部材・測定器等、豊富なラインアップを展示しておりますので、是非お立ち寄り下さい。