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製品

成膜/洗浄

ITOターゲット研磨代行サービス / ITO、コバルトターゲット等のノジュール研磨

製造:/

特定化学物質障害予防規則等が改正(平成25年1月1日より施行適用)されました。改正に伴い、インジウム化合物、コバルト及びその無機化合物について、健康障害防止措置が義務づけられます。弊社にてITOターゲット等、指定ターゲットのノジュール研磨を代行いたします。

製品の特長

  • 特定化学物質障害予防規則等が改正されたことで、
    ・粉じん装置、換気装置等を設置し、作業者が粉じん等でばく露することを防止するために発散抑制措置を講じる
    ・作業環境測定を実施する
    ・作業者は定期的に規定項目について健康診断を受ける
    ・作業環境測定結果に応じて、規格を満たす呼吸用保護具を使用する
    等が要求されております。

製品の適用例

特定化学物質に指定された以下のような、ターゲット上に成長したノジュールの研磨作業を代行致します。
・インジウム化合物ターゲット
・ITOターゲット
・コバルトターゲット
・コバルト化合物ターゲット

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