ラングミュアプローブ（プラズマ測定器）の仕様

一般仕様

プローブ長さ

150 mm to 1400 mm

プローブチップ長さ

10 mm,カスタム可

プローブチップ直径

0.4mm,カスタム可

プローブチップ材質

W, Ta, Ni, Pt

最大作動温度

Model #02-1444-02: Air cooled 230°C
Model #02-1444-02: No cooling 125°C
Model #02-0463-01: 900°C
Model #02-0501-01: 125°C

RF補償周波数

Max. 5

RF周波数補償オプション

400 kHz, 2 MHz, 13.56 MHz, 27.12 MHz, 40.68 MHz, 60 MHz

プラズマリアクタータイプ

DC, Pulsed DC, MF, RF, Pulsed RF, Microwave, Atmospheric Plasmas

リニアドライブオプション

150, 300, 450, 600, 900 mm

時間分解能

12.5 ns

冷却エアーインレット

4 mm tube push fit

最大圧縮空気圧力

4 bar

電圧スキャンレンジ

-150 to +150 V

センサーパルス周期

External sync: TTL input trigger(1 Hz to 1 MHz)

プラズマパラメータ

浮遊電位

-145 V to +145 V

プラズマ電位

-100 V to +145 V

プラズマ密度

106 to 1013 cm-3

イオン電流密度

1 μA/cm2 to 300 mA/cm2

電子温度

0.1 eV to 15 eV

電子エネルギー確率関数(EEPF)

0 eV to 100 eV

モデル仕様（Fixed Probe）

モデル#	製品名	概要
02-0144-02	Fixed Probe 10 mm	10 mm OD, rigid, Alumina Shaft (<1m length)
02-0463-01	Fixed Probe 6.5 mm	6.5 mm OD, Rigid, ceramic coated stainless steel shaft (<1 m length)
02-0501-01	Feed-through for flexible shaft models	Feed-through for flexible Langmuir Probes
02-0466-01	Flexible 10 mm Shaft	Rigid tip section with flexible ceramic beaded cable
02-0467-01	Flexible 6.5 mm Shaft	Rigid tip section with flexible ceramic beaded cable

モデル仕様（Langmuir Probe）

モデル#	製品名	概要
02-0241-01	Langmuir Probe | Electronics Unit	1.5 μA – 1 A
02-0045-01	Langmuir Probe | Electronics Unit	15 nA – 150 mA
02-0460-01	Langmuir Probe | Electronics Unit	1.5 nA – 15 mA

自動リニアドライブシステム仕様

移動距離

300 mm, 1.4m等カスタム対応可能

ステップ分解能

0.025 mm

ALPコントロールユニット

プローブ電圧スキャンレンジ

-150 to +150 V

プローブ電流レンジ

15 nA to 150 mA

通信

USB2.0 USB2.0

サンプリングレート

80 MSPS(V,I)

データ取得分解能

4.5 mV, 100 pA

時間分解ステップ分解能
（ボックスカーモード）

12.5nS

外部トリガー

TTL互換, 10 Hz – 1 MHz

OS

Windows 200, XP, Vista, Windows7

大気圧用ラングミュアプローブ
プラズマパラメータ

電子温度(kTe)

0.1 to 15 eV

イオン密度

109 to 6 x 1016 cm-3

イン電流密度(Ni)

1 μA/cm2 to 300 mA/cm2

デバイ長

–

イオンフラックス

–

ガス温度

200°Cまで対応　※オプション5000°Cまで

・12.5nsのステップ時間分解能にて測定が可能
・オートリニアドライブシステムにより0.025mmのステップ分解能にてプローブをプラズマへ移動できます。