製品

製品の特長

• 表面処理技術：イオン注入
  　標準処理はイオン注入技術を採用。ご要望に応じてPVD（物理蒸着）処理にも対応可能です。
  
  直感的な操作が可能な統合制御システム
  　装置には直感的なHMI（ヒューマン・マシン・インターフェース）を備えた統合型コントロールユニットを搭載。安定稼働と作業効率を両立します。
  
  多様なプロセスガスに対応
  　Ar、He、N₂、O₂、および混合ガスなど、用途に応じてさまざまなプロセスガスをご使用いただけます。