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粒子用ALD（原子層堆積）装置
FORGE NANO社 粒子用ALD（原子層堆積）装置
研究開発機から量産機まで豊富な装置のラインアップ
粒子用ALD（原子層堆積）装置のメリット
- 膜厚を均一にコントロール
- 3種類のリアクターサイズ(5ml,150ml,600ml)
- 複数のプリカーサーを個別に温度コントロール
- 色々な粒子材料に色々な膜の成膜が可能
粒子用ALD（原子層堆積）装置の仕様
PROMETHEUS プロメテウス（研究開発機）
- 原料
基本プリカーサー／低蒸気圧プリカーサー
- リアクター方式
振動流動床リアクター
- リアクター構造
金属シール付きステンレス
- リアクター温度範囲
450°Cまで
- 最大プロセスライン温度
200°Cまで
- 除害モジュール
フォアライントラップ、 フィルターユニット
- HMI
コンピュータにはカスタムソフトウェアが付属
- オプション
・ヒートジャケット
・ロータリー式真空ポンプ
・質量分析器
・流動化補助装置（ジェットアシスト）
・グローブボックスでの不活性ガス中でハンドリングできるリアクターのデザイン
・オゾン発生器
- リアクターサイズ （使用可能な粉末量）
小(0.5-5mℓ)中(12-150mℓ)大(100-600mℓ)
量産機特長比較表
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| 装置 | リトス Lithos |
キルケ Circe |
モルフェス Morpheus |
| タイプ | バッチ式 | 連続式 | 半連続式 |
| 生産性（最大） | 5トン/バッチ | 20トン/日 | 20トン/日 |
| 粒子処理量 | 50-500ℓ(1,000+kgまで現行機種） 5トンまで（2021年新設計） |
100-4,000kg/時間（仕様により） | 25-500kg/時間（仕様により） |
| 最大リアクター温度 | 200℃、又は、400℃ | 400℃ | 200℃ |
| 質量分析(Residual Gas Analyzer) | カスタム制御ソフトにより粒子へ自動成膜 | ||
| プレカーサー供給ユニット | 4つの異なるプレカーサーまで （2つのプレカーサーが標準） |
2つ（ご手配時決定） | 2つの液体ソース （オプションで低/高蒸気圧材料） |
| プロセスラインとバルブの加熱 | 200℃まで | 200℃まで | 200℃まで |
| ソフト/制御 | 自動フィードバック式制御のレシピーベースのソフト | PLC制御、タッチパネル | PLC制御、タッチパネル |
| 装置寸法 | 3m x 2m x 3m (参考） | 5m x 2m x 4m (参考） | 1m x 2m x 5m (参考） |
| 他 | – 厚膜の成膜 – 低蒸気圧プリカーサー使用 – 各サイズに対応 （～100kgから5トンバッチ） |
– 常圧でのプロセス – 1μm以上の粒子サイズに対応 |
– ALDサイクル追加はタワー数を追加 |
粒子用ALD（原子層堆積）装置の適用例
- 電池材料
- 劣化が始まる電池材料の表面にALDコーティングし表面を安定化しリチウムイオン電池の劣化を抑制し寿命を改善します。 また、寿命末期でも高速充電を維持します。
- 触媒
- 耐久性強化を目的とした触媒設計や原子レベルの機能化に効果を発揮します。
- 蛍光体
- 蛍光体粒子のカプセル化が可能。ケイ酸塩、硫化物、酸化物など多くの蛍光体に対応。防湿、熱エネルギー、照明・蛍光機能の機能性改善を測ります。
- 3Dプリント
- ・低コストの粉体の使用も可能に。
・酸素／水分をバリアすることでより安全な輸送ができ、 保存期間も延長できます。
・表面ドーパントによって、粒成長を制御しより強固なパーツの製造を実現。
- 医療機器
- ポリマーにALD加工を施すことで、摩擦係数や疎水性、親水性、疎油性、親油性などの表面改善が可能です。
カテーテル上のコーティングや心肺機器、透析機器など、さまざまな用途への活用に検討いただけます。
粒子用ALD（原子層堆積）装置の導入を検討されているお客様へ
アメリカ ・FORGE NANO社の粒子用のALD装置は、特許取得済みの占有技術を用いて開発された信頼性の高い装置です。リチウム電池をはじめ、触媒・蛍光体など適用領域も広く、研究開発規模から量産規模までの装置のご提案が可能。
納入先の評判も良く、「容易に使いこなせる」というお声をいただいております。
また、弊社内にテクニカルサポートの部隊がございますので据付から保守まで万全の体制でサポートいたします。評価用テスト成膜のご用命やご質問等、どうぞお気軽にお問い合わせください。
粒子用ALD（原子層堆積）装置に関するご質問
- 量産機にも対応できますか？
はい。1g〜1kgのラボスケールから、10-100kgのパイロットスケール、100kg〜20ton/dayの商業規模まで、適した装置をご提案可能です。
- テスト成膜は可能ですか？
はい、可能です。粒子材料をお預かりし、対応させていただきます。
- 粉体が凝集しないような仕組みになっていますか？
はい。振動流動床方式、及び、他方式により凝集を防止します。
粒子用ALD（原子層堆積）装置のお問い合わせからの流れ
テスト成膜
テスト成膜が可能です。
評価・検討
テスト成膜の結果をご確認いただき、 装置導入のご検討。
ご発注
装置の発注をいただき次第、 装置を製作し、輸入・据付いたします。
保守
弊社のテクニカルサポートが保守対応いたします。