粒子用ALD（原子層堆積）装置の仕様

PROMETHEUS プロメテウス（研究開発機）

原料

基本プリカーサー／低蒸気圧プリカーサー

リアクター方式

振動流動床リアクター

リアクター構造

金属シール付きステンレス

リアクター温度範囲

450°Cまで

最大プロセスライン温度

200°Cまで

除害モジュール

フォアライントラップ、 フィルターユニット

HMI

コンピュータにはカスタムソフトウェアが付属

オプション

・ヒートジャケット
・ロータリー式真空ポンプ
・質量分析器
・流動化補助装置（ジェットアシスト）
・グローブボックスでの不活性ガス中でハンドリングできるリアクターのデザイン
・オゾン発生器

リアクターサイズ （使用可能な粉末量）

小(0.5-5mℓ)中(12-150mℓ)大(100-600mℓ)

量産機特長比較表

装置	リトス Lithos	キルケ Circe	モルフェス Morpheus
タイプ	バッチ式	連続式	半連続式
生産性（最大）	5トン/バッチ	20トン/日	20トン/日
粒子処理量	50-500ℓ(1,000+kgまで現行機種） 5トンまで（2021年新設計）	100-4,000kg/時間（仕様により）	25-500kg/時間（仕様により）
最大リアクター温度	200℃、又は、400℃	400℃	200℃
質量分析(Residual Gas Analyzer)	カスタム制御ソフトにより粒子へ自動成膜
プレカーサー供給ユニット	4つの異なるプレカーサーまで （2つのプレカーサーが標準）	2つ（ご手配時決定）	2つの液体ソース （オプションで低/高蒸気圧材料）
プロセスラインとバルブの加熱	200℃まで	200℃まで	200℃まで
ソフト/制御	自動フィードバック式制御のレシピーベースのソフト	PLC制御、タッチパネル	PLC制御、タッチパネル
装置寸法	3m x 2m x 3m (参考）	5m x 2m x 4m (参考）	1m x 2m x 5m (参考）
他	– 厚膜の成膜 – 低蒸気圧プリカーサー使用 – 各サイズに対応 （～100kgから5トンバッチ）	– 常圧でのプロセス – 1μm以上の粒子サイズに対応	– ALDサイクル追加はタワー数を追加