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大気圧用ラングミュアプローブ / 大気圧プラズマが測定可能なラングミュアプローブです。

大気圧用ラングミュアプローブ
製造:Impedans [アイルランド]
Impedans

大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

メーカーサイト カタログ(PDF)

特長

・プラズマトーチ、アークプラズマのような大気圧、
 熱プラズマのパラメータが測定可能な世界初のラングミュアプローブです。

・冷却水システムにより、高温での使用が可能です。

・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。
 (2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)

・サンプリングレートは、80MSPS(V,I)で、世界最速です。
 (2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)

・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ
 分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布
 が分析できます。

・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。
 プローブ先端の取替えも容易。

・プローブシャフトのサイズは、カスタムが可能です。

適用

・プラズマプロセスの開発
・プラズマプロセスの診断
・エッチング、CVDの開発ツール
・マグネトロンスパッタリングやHiPIMSの薄膜成膜プロセスの開発
・殺菌、医療応用
・核融合プラズマ、プラズマ推進

インストール方法

大気圧ダブルプローブ特性 

プラズマ密度空間プロファイル

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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