製造：INTEVAC, INC./米国

インテバック社は、最新のコーティングシステムを市場に投入します。中小規模の基板向けのコンパクトでコスト効率の高いコーティングソリューションです。 HDD市場をリードする 200Lean© を世界にもたらした材料科学の専門知識から生まれたこの革新的な技術開発は、2D および 3D ガラス基板を大量に連続でコーティングできるコンパクトな機械であり、多層膜と厚膜をインラインプロセスで作成します。インテバック社独自の特許取得済みのプラズマ制御技術、高速出力と高速処理時間により、高速スパッタリングが可能になり、低コストで耐摩耗、反射防止、高硬度のコーティングが得られます。 TRIO™ は、将来のテクノロジーに必要な拡張が可能なモジュール方式となっています。