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製品
その他／表面処理
CMPパッドコンディショナー
製造：Morgan Advanced Ceramics, Inc. / 米国
米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。
製品の特長
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・ ダイアモンド砥粒をシリコン基板、あるいはセラミック基板にCVDコーティングした構造。
・ ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成。
・ 耐スラリー性も強く、スラリーによる化学的な侵食もなし
・ ダイアモンドの欠落、粉砕が一切なし
・ ダイアモンド砥粒、密度の制御も可能
製品の適用例
CMPプロセスでのパッドのコンディショニング