製造:AGC Glass Europe/AGC PlasmaTechnologies Solutions
自社製の最新ホローカソード式プラズマ源を採用した
PE-CVD装置です。
『PlasmaMAX™ホローカソードPECVD』は、最高品質を
保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量
生産プロセスの最適化ができるように設計されています。
この技術により、バリア成膜品、光学多層膜製品、
機能性繊維、ディスプレーの製造や、一連の関連する
カスタムアプリケーションを最適化することができます。