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製品
検査・測定
光複屈折率・光導波損失・膜厚測定装置 SPA-4000
製造：Sairon Technology, Inc. / 韓国
韓国サイロンテクノロジー社のプリズムカラーです。
±0.01dB/cmの精度で光伝搬損失を測定します。
また、サンプルを回転させながら、光複屈折率の変移を解析致します。
製品の特長
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･光伝搬損失を±0.01dB/cmの再現精度で測定可能 (SiO2の場合）
･液体の光屈折率を測定可能
･基板上の2層の上下層薄膜を下層についての光屈折率、膜厚が分かっていなくても測定可能
（上下層で合計7モード以上検出できた場合）
･基板上の2層の上層薄膜を1モード検出のみで測定可能
（下層についての光屈折率、膜厚が分かっている場合）
･モーター最小分解能0.0025mm毎にデーターを採集
･2層測定の場合、微小な上下層の光屈折率差でも個別測定可能
（633nmレーザー測定での場合、デルタ0.01%以上で測定可能）
用途
光導波路、ディスプレイ、光/磁気記録媒体、光学素子、IC製造工程等
製品の仕様
●光伝搬損失（マッチングオイル法）
0.01dB/cmまでの微細な損失を検出
註：試料品質に依存します。
●光屈折率
<gggプリズム使用時>
1.0 -1.8±(0.001) at 405?1550nm
1.8 ?2.45±(0.001) at 532?1550nm
●光屈折率温度依存測定
室温～150℃
●膜厚
0.4um-150um±(0.5%)
●光複屈折率測定
X,Y,Z軸の光屈折率の変移を、回転しながら解析</gggプリズム使用時>