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製品
成膜／表面処理
イオントリミング装置
製造：Advanced Modular Systems, Inc / 米国
米AMS社のSAW, BAWフィルタ、その他のアプリケーションで使用されるトリミング装置。独自に開発した独特のイオンソースを使用し、優れた膜厚均一性を達成します。R&D機から量産タイプまで、使用用途に応じた装置構成をご提案致します。
製品の特長
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・ 基板サイズ4"～8"まで対応
・ ウェハ手置きの低コストのR&Dタイプから量産タイプまで、各種装置構成をご提案 -
SAW、BAWフィルタなどのトリミング