製品

製品の特長

• 1. 太陽電池ウェハ・セルのマイクロクラックを結晶粒界と識別し、確実に検出。
  2. ウェハ（1秒/枚）、セル（1.5秒/枚）で瞬時に検査。
  3. コンベア上に検査部を統合するインラインタイプ、R&D用のオフラインタイプ、ソーター機能を持たせた準量産タイプ、など用途に応じた各種装置をラインアップ。