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製品
成膜
圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置
製造：Advanced Modular Systems, Inc / 米国
AMS社スパッタ装置（圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置）は、AlN膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜の成膜において高い面内均一性を達成。ストレス制御も可能。構成は、クラスタ装置で、基本構成で最大６チャンバー（プレクリーニング、カセットモジュール含）の統合が可能。
製品の特長
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・高い面内均一性
・ストレス制御
・基板回転機構、冷却・加熱機構、基板RFバイアス
・膜厚自動制御機能
・ウェハ１枚手置きの低コストのR&Dタイプから量産タイプまで、各種装置構成有
製品の適用例
・SAW、BAWフィルタ等、高い面内均一性が要求される製品の成膜プロセス