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製品

成膜

圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置

製造:Advanced Modular Systems, Inc / 米国

AMS社スパッタ装置(圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置)は、AlN膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜の成膜において高い面内均一性を達成。ストレス制御も可能。構成は、クラスタ装置で、基本構成で最大6チャンバー(プレクリーニング、カセットモジュール含)の統合が可能。

製品の特長

  • ・高い面内均一性
    ・ストレス制御
    ・基板回転機構、冷却・加熱機構、基板RFバイアス
    ・膜厚自動制御機能
    ・ウェハ1枚手置きの低コストのR&Dタイプから量産タイプまで、各種装置構成有

製品の適用例

・SAW、BAWフィルタ等、高い面内均一性が要求される製品の成膜プロセス

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