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製品
成膜/検査・測定/表面処理
大気圧用ラングミュアプローブ / 大気圧プラズマが測定可能なラングミュアプローブです。
製品の特長
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・プラズマトーチ、アークプラズマのような大気圧、
熱プラズマのパラメータが測定可能な世界初のラングミュアプローブです。
・冷却水システムにより、高温での使用が可能です。
・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。
(2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)
・サンプリングレートは、80MSPS(V,I)で、世界最速です。
(2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)
・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ
分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布
が分析できます。
・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。
プローブ先端の取替えも容易。
・プローブシャフトのサイズは、カスタムが可能です。
インストール方法
大気圧ダブルプローブ特性
プラズマ密度空間プロファイル
製品の適用例
・プラズマプロセスの開発
・プラズマプロセスの診断
・エッチング、CVDの開発ツール
・マグネトロンスパッタリングやHiPIMSの薄膜成膜プロセスの開発
・殺菌、医療応用
・核融合プラズマ、プラズマ推進
・プラズマプロセスの診断
・エッチング、CVDの開発ツール
・マグネトロンスパッタリングやHiPIMSの薄膜成膜プロセスの開発
・殺菌、医療応用
・核融合プラズマ、プラズマ推進