製品の特長

• ・プラズマトーチ、アークプラズマのような大気圧、
  　熱プラズマのパラメータが測定可能な世界初のラングミュアプローブです。
  
  ・冷却水システムにより、高温での使用が可能です。
  
  ・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。
  　(2012年11月現在、世界最速　※当社調査による)
  
  ・サンプリングレートは、80MSPS(V,I)で、世界最速です。
  　(2012年11月現在、世界最速　※当社調査による)
  
  ・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ
  　分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布
  　が分析できます。
  
  ・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。
  　プローブ先端の取替えも容易。
  
  ・プローブシャフトのサイズは、カスタムが可能です。