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製品

成膜

卓上スパッタ装置 / 研究開発向けの卓上のスパッタ装置です

製造:A-Tech System / 韓国

研究開発向けの小型のスパッタ装置です。
金属、金属炭化物、金属酸化物等の成膜が可能です。
RF電源からDC電源まで搭載可能で、リアクティブスパッタも可能です(オプション)。

製品の特長

  • ・ターゲットサイズ:2~3インチ
    ・基板サイズ:3インチまで
    ・基板加熱:300℃まで(オプション)
    ・TS距離:60~100mm
    ・重量:100kg
    ・寸法:561mm(横) x 548mm(奥行) x 519mm(高さ) (標準仕様の場合)
    ・冷却装置取付可能(オプション)

製品の適用例

・半導体
・ディスプレイ
・太陽電池

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