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製品
成膜
卓上スパッタ装置 / 研究開発向けの卓上のスパッタ装置です
製造：A-Tech System / 韓国
研究開発向けの小型のスパッタ装置です。
金属、金属炭化物、金属酸化物等の成膜が可能です。
RF電源からDC電源まで搭載可能で、リアクティブスパッタも可能です(オプション)。
製品の特長
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・ターゲットサイズ：2～3インチ
・基板サイズ：3インチまで
・基板加熱：300℃まで(オプション)
・TS距離：60～100mm
・重量：100kg
・寸法：561mm(横) x 548mm(奥行) x 519mm(高さ) (標準仕様の場合)
・冷却装置取付可能(オプション)
製品の適用例
・半導体
・ディスプレイ
・太陽電池
・ディスプレイ
・太陽電池