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【産機二部 情報グループ】
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製品
成膜/検査・測定/表面処理
高周波計測器 RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能
インストール方法
Octiv計測可能パラメータ比較リスト
Octiv 製品ラインナップ
Octiv Mono
Octiv Monoは、RFの以下のパラメータを測定可能です。
・リアルパワー
・フォワードパワー
・リフレクトパワー
・インピーダンス
Octiv VI
Octiv VIは、RFの以下のパラメータを測定可能です。
・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
Octiv Poly
Octiv Polyは、RFの以下のパラメータを測定可能です。
・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
Octiv Suite
Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。
・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
・イオンフラックス
・Waveform reconstruction