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【産機二部 情報グループ】
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製品
検査・測定
プラズマクリーナー / ~真空チャンバーと試料を同時にクリーニング致します。
製品の特長
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■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。
■プラズマの発光がモニタリングできます。
■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。
■自動でガス流量を制御可能。
クリーニング前後のサンプル写真 Carbon deposition
クリーニング前後のサンプル写真 コンタミネーション
製品の適用例
・電子顕微鏡 SEM,FIB,TEM,EBL,CD-SEM,EBR,EUVL,
ALDや高圧チャンバー
ALDや高圧チャンバー