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その他／検査・測定

エアーフローティングステージ

製造：Core Flow / イスラエル

非接触で基板を保持するエアーステージです。
電気不要、エアーのみの制御で大型基板を
ストレス無くフローティングします。
レイアウトに応じてご要望サイズ構成の
ステージを用意します。

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製品の特長

- 高精度のエアーギャップ制御（±5μm以下）
- 様々な大きさのステージを作製可能
　（基板サイズG10.5以上、基板厚み0.1～1.5mmも対応可能）
- 圧縮空気、ブロアーのどちらでも使用可能
- エアークッションの高い剛性（2gr/cm2）
- 低いエアー供給圧（50～100mbar）
- レールタイプ、プレートタイプ共各種サイズ対応
- エッジ処理ソリューションにより、ガラスエッジとステージ　との接触を防止

製品の適用例

- ディスプレイ基板用自動光学検査（AOI)システム
- スリットコーティングシステム
- OLED用インクジェット・プリンティングシステム
- UV硬化用ステージ
- FA（ファクトリーオートメーション）

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