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その他/検査・測定

エアーフローティングステージ

製造:Core Flow / イスラエル

非接触で基板を保持するエアーステージです。
電気不要、エアーのみの制御で大型基板を
ストレス無くフローティングします。
レイアウトに応じてご要望サイズ構成の
ステージを用意します。

製品の特長

  • - 高精度のエアーギャップ制御(±5μm以下)
    - 様々な大きさのステージを作製可能
     (基板サイズG10.5以上、基板厚み0.1~1.5mmも対応可能)
    - 圧縮空気、ブロアーのどちらでも使用可能
    - エアークッションの高い剛性(2gr/cm2)
    - 低いエアー供給圧(50~100mbar)
    - レールタイプ、プレートタイプ共各種サイズ対応
    - エッジ処理ソリューションにより、ガラスエッジとステージ との接触を防止

製品の適用例

- ディスプレイ基板用自動光学検査(AOI)システム
- スリットコーティングシステム
- OLED用インクジェット・プリンティングシステム
- UV硬化用ステージ
- FA(ファクトリーオートメーション)

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