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製品
環境設備
EPIXケミカルフィルタ搭載FFU(ファンフィルタユニット)
製造：株式会社イー・シー・イー （英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本
クリーンルーム用に開発されたケミカルフィルタ搭載の自立型ファンフィルタユニット装置です。汚染物の種類・濃度に応じてケミカルフィルタの積層化が可能であり、除去能力が高く半導体/液晶製造装置または実験用のブースに接続して用いると効果的です。
製品の特長
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1． 自立型でキャスタにより移動可能です。一定空間内のケミカルを除去して清浄空気を供給できます。
2．汚染物質の種類濃度に応じて500mmまでの最適なケミカルフィルタを搭載することができます。
3．インバータ制御により5m3/minまたは10m3/minまで風量の可変ができます。
4．半導体/液晶分野の規格であるSEMIとCEに準拠しております。
製品の適用例
1．半導体/液晶製造装置内部のクリーン化
2．実験装置、クリーンブースのケミカルクリーン化
2．実験装置、クリーンブースのケミカルクリーン化
製品の仕様
| 型式 | FFU05 | FFU10 | |
|---|---|---|---|
| 風量※(m3/min) | 5 | 10 | |
| 風量制御方式 | インバータ | ||
| 電源 | 200/210V 50/60Hz 三相 | ||
| モータ出力(kW) | 0.4 | 0.75 | |
| 外形寸法(mm) | 600W×700D×1700H | 700W×700D×1750H | |
| 製品質量(kg) | 160 | 180 | |
| 設置条件 | 設置場所 | 屋内 | |
| 設置環境 | 塵埃、腐食性ガス、可燃性ガス オイルミスト等の無い場所 |
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| 周囲温度 | 25±10℃ | ||
| 湿度 | 30～80%RH | ||
| SEMI・CE取得 | 取得済み | ||
※取り合い部の静圧200Paの場合