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非接触表面抵抗測定器 / インライン対応可能、表面抵抗値の異方性を測定可能です。

非接触表面抵抗測定器
製造:NAGY社[ドイツ]

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

メーカーサイト カタログ(PDF)

特長

ドイツNAGY社による渦電流磁界を利用したオンライン、オフラインに対応可能な非接触表面抵抗測定器です。プラスチックフィルム、ガラス基板、ペーパー等に成膜された導電膜のシート抵抗測定が可能で製品の品質管理及びプロセス管理を容易にします。常圧、真空下での測定に対応し、ロールコーター等の既存成膜装置内への取付も可能です。測定チャンネル数は1~99チャンネルに対応可能なため、R&Dからマス・プロダクションまで対応いたします。また、最大20mmという他社製品と比べて広い測定ギャップにて測定することが可能であるため、お客様の様々なアプリケーションにも対応いたします。

適用例

プラスチックフィルム、ガラス基板、ペーパー、シリコンウェハ上の金属膜、ITO膜、電磁波遮蔽膜、銀ナノワイヤー等のシート抵抗測定。
表面抵抗値の異方性も測定可能です。

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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