製品情報

Home > 製品情報 > 部門別検索 > 情報精密機器部門 > 太陽電池関連装置・部材 > 多結晶シリコン溶解炉

多結晶シリコン溶解炉

多結晶シリコン溶解炉
製造:ALD Vacuum Technologies GmbH[ドイツ]

真空冶金装置の総合メーカーである独ALD Vacuum Technologies GmbH 社は、ソーラーグレードのシリコンを溶解・再結晶化し、多結晶インゴット状にする装置を製造販売しており、既に数多くの運転実績を有しています。

メーカーサイト  

特長

・ 炉体の重量は、約11ton(材料未装填時)
・ 複数台の炉に対応したプラットフォーム
・ ルツボの大きさに関わらず、溶解、再結晶化、焼鈍、冷却までのプロセスが50時間以下。
・ 800mm sq, max.400kgのインゴットの製造が可能。
・ 炉の電源容量は約200kW
・ 真空下または不活性ガス雰囲気下での生産が可能。
・ 最新のPLCおよびプロセス監視システムを使用 。
・ モデムによる遠隔設備診断
・ 高純度グラファイト製 交換可能なホットゾーン
・ 最新のプロセス監視システム

適用

ソーラーグレードシリコンの溶解・再結晶化

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
お問い合わせはこちら

ページトップへ

製品情報