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プラズマクリーナー / ~真空チャンバーと試料を同時にクリーニング致します。

プラズマクリーナー
製造:PIE Scientific LLC[アメリカ]
PIE Scientific LLC

電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去致します。

メーカーサイト カタログ(PDF)

特徴

■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。
■プラズマの発光がモニタリングできます。
■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。
■自動でガス流量を制御可能。

適用

・電子顕微鏡 SEM,FIB,TEM,EBL,CD-SEM,EBR,EUVL,
ALDや高圧チャンバー

クリーニング前後のサンプル写真 Carbon deposition

クリーニング前後のサンプル写真 コンタミネーション

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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