真空成膜装置・コンポーネント

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液晶製造用各種スパッター装置・蒸着装置のほか、ロータリーカソードを御紹介致します。

韓国SNU社の第5世代向け有機層及びアルミ電極層の蒸着装置を提案いたします。

韓国SNU社の薄膜封止装置を提案致します。新しいコンセプトを用いた本装置を使用することで、高ガスバリア性が得られ、薄く、フレキシブルなデバイスを製造することが可能となります。

米国SCI社の優れた操作性・メンテナンス性のロータリーカソードドライブユニットを提案致します。

米国AppliFlex社のLVD技術を紹介致します。蒸着では難しい有機材料やポリマーの成膜が可能です。

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法（スクリーン印刷など）で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- イオンカレント
- エレクトロンフラックスとエネルギー

韓国Korea Laser Tech社が製造する各種レーザー加工装置です。OLED、液晶ディスプレイ、モバイル用タッチパネルスクリーンの加工用途で多くの生産装置納入実績がございます。ご要望に応じたフレキシブルな装置提案が可能です。

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

Low-Eガラス、断熱材等の熱放射率を簡易かつ正確に測定いたします。

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

韓国SNTEK社の超精密電子ビーム真空蒸着システムは、バッチ式の生産設備で精密線幅を要求するPower IC、 LEDデバイス、 MEMSなどの薄膜蒸着及びリフトオフ工程に使用します。

韓国のSNTEK社製R&D用スパッタ装置は企業、大学の研究所向けの装置で、韓国国内で多数の納入実績があります。

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