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真空成膜装置・コンポーネント

液晶製造用各種スパッター装置・蒸着装置のほか、ロータリーカソードを御紹介致します。

第5世代向け有機層蒸着装置

第5世代向け有機層蒸着装置

韓国SNU社の第5世代向け有機層及びアルミ電極層の蒸着装置を提案いたします。

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薄膜封止装置

薄膜封止装置

韓国SNU社の薄膜封止装置を提案致します。新しいコンセプトを用いた本装置を使用することで、高ガスバリア性が得られ、薄く、フレキシブルなデバイスを製造することが可能となります。

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インクジェット装置

インクジェット装置 / "Tri - JET"シリーズ

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法(スクリーン印刷など)で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

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イオンエネルギー測定器

イオンエネルギー測定器

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

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レーザー加工装置

レーザー加工装置

韓国Korea Laser Tech社が製造する各種レーザー加工装置です。OLED、液晶ディスプレイ、モバイル用タッチパネルスクリーンの加工用途で多くの生産装置納入実績がございます。ご要望に応じたフレキシブルな装置提案が可能です。

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フラッシュランプアニーリング装置

フラッシュランプアニーリング装置 / FLA

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

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熱放射率測定装置

熱放射率測定装置

Low-Eガラス、断熱材等の熱放射率を簡易かつ正確に測定いたします。

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デスクトップ型の小型スパッタリング装置

デスクトップ型の小型スパッタリング装置 / デスクトッププロ

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

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超精密電子ビーム真空蒸着装置

超精密電子ビーム真空蒸着装置

韓国SNTEK社の超精密電子ビーム真空蒸着システムは、バッチ式の生産設備で精密線幅を要求するPower IC、 LEDデバイス、 MEMSなどの薄膜蒸着及びリフトオフ工程に使用します。

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R&D用スパッタリング装置

R&D用スパッタリング装置 / マグネトロンスパッタリングシステム

韓国のSNTEK社製R&D用スパッタ装置は企業、大学の研究所向けの装置で、韓国国内で多数の納入実績があります。

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スロットダイコーター

スロットダイコーター / パテント取得の革新的なスロットダイコーターです。

パテント取得の最先端技術で均一の薄膜をコーティング致します。
量産機へのスケールアップが可能です。
ガラス、樹脂、金属フォイル、ウエハ等のリジッド&フィレキシブル基材に対応。 
FPD、OLED、PV、フィレキシブルフィルム、光学フィルム等多彩な用途にも対応。 

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ガラス基板専用 カッティング装置

ガラス基板専用 カッティング装置 / Billco社はガラス製造に関する、多種多様な装置を提供している企業です。

Billco社は、ガラス基板専用のカッティング装置を提案致します。複数カッティング装置がありますので、様々なサイズのガラスに対応可能です。

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ガラス欠陥検査装置

ガラス欠陥検査装置

Dr. Schenkは、様々なガラスの欠陥を自動で認識する、豊富な実績のガラス用欠陥検査装置を提供致します。

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RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

Beneq社RtoR原子層堆積装置(ALD装置)は、フレキシブルエレクトロニクスの高い要求レベルに対応する高ガスバリア性を低コスト、単層膜で達成することが可能です。

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レーザー式フィルムカッティング装置

レーザー式フィルムカッティング装置 / 高速プロセス用 フィルムカッティング専用機

各種のフィルム材料を専用のレーザーチューニングにてシャープな切断面でカッティングができます。

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卓上スパッタ装置

卓上スパッタ装置 / 研究開発向けの卓上のスパッタ装置です

研究開発向けの小型のスパッタ装置です。
金属、金属炭化物、金属酸化物等の成膜が可能です。
RF電源からDC電源まで搭載可能で、リアクティブスパッタも可能です(オプション)。

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常圧エアゾール式コーター

常圧エアゾール式コーター / 薄膜を均一に高速コーティング、量産機へのスケールアップが可能

TCO(透明導電酸化)膜の量産向けコーティングに開発された独自技術により、常温で薄い液フィルムのコーティングが可能  

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光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置)

光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置) / 従来のALDの4倍~10倍生産性の高いプラズマALDをご提案致します。

従来のALD装置では不可能であったプラズマを使用したバッチ式ロータリーALD装置の開発に成功致しました。従来のALD装置より4倍~10倍のハイスループットを達成致しました。

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大面積用原子層堆積装置  (ALD装置)

大面積用原子層堆積装置  (ALD装置) / 従来のALDの常識を覆す驚異的なスループットをご提案致します。

世界初のシートtoシート ALD装置の開発を致しました。大面積基板をシートからシートへ連続して移動させることにより、従来のALDの常識を完全に覆す驚異的なスループットを達成した革新的なALD装置です。

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