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大面積用原子層堆積装置  (ALD装置) / 従来のALDの常識を覆す驚異的なスループットをご提案致します。

大面積用原子層堆積装置  (ALD装置)
製造:Beneq社[フィンランド]

世界初のシートtoシート ALD装置の開発を致しました。大面積基板をシートからシートへ連続して移動させることにより、従来のALDの常識を完全に覆す驚異的なスループットを達成した革新的なALD装置です。

メーカーサイト  

特長

・最大速度 0.5m/sec (30m/min)でALDの常識を超えた驚異 的なスループットを達成しました。
・インラインへの組み込みが可能です。
・パターン成膜が可能です。
・圧力が30mbarから大気圧で使用可能なため、従来のALDより もランニングコストが抑えられます。
・基板サイズに限界がありません。大面積にスケールアップが 可能。

大型基板への成膜サンプル例

サンプル

アプリケーション

リチウムイオンバッテリー、大型ガラス、反射防止膜、ハイバリア膜、パッシベーション膜等々

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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