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真空ポンプ、真空機器

クリーンな真空環境を作るドライポンプや真空計等をご紹介いたします。

超高濃度クリーンオゾナイザ OZCシリーズ

超高濃度クリーンオゾナイザ OZCシリーズ

放電原理によるオゾンガスの発生装置です。
無声放電と沿面放電の複合放電により超高濃度のオゾンを生成します。

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クリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージ

クリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージ

CC-10は最新のセンサー技術を取り入れ、クリスタルゲージとコールドカソードゲージの組み合わせによる12桁の圧力範囲(1.0×10-7 ~1.0×105 [Pa])の連続測定を可能とした真空計です。

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コンベクションピラニゲージ/ピラニゲージ

コンベクションピラニゲージ/ピラニゲージ

低真空領域から中真空領域まで測定に適したコンベクションピラニーゲージ及びピラニーゲージです。

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ドライポンプ

ドライポンプ

省エネルギー型ESRシリーズの後継機としてEV-Sシリーズをリリース致しました。勿論、腐食プロセスへの対応も可能な耐食母材仕様もラインアップ。
他にも軽負荷専用VOS、大量の反応副生成物が発生するプロセス対応のESTシリーズ等を取り揃えております。

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除害装置

除害装置

半導体製造時に排出される有害ガスの無害化装置です。大量生産に最適な燃焼式処理装置から研究用途のトラップ式乾式除害装置まで豊富なラインアップ。

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イオンエネルギー測定器

イオンエネルギー測定器

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

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フラッシュランプアニーリング装置

フラッシュランプアニーリング装置 / FLA

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

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真空用オゾン除害器

真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。

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