製品

製造：Intego Vision Systems / ドイツ

独Intego社のシリコンブロック検査装置は、多結晶シリコンブロック内のSiN, SiCなどの不純物検査やクラックの検出を行う装置です。同筐体で、ブロックの形状測定機能を追加することも可能です。

製造：Advanced Modular Systems, Inc / 米国

米AMS社のSAW, BAWフィルタ、その他のアプリケーションで使用されるトリミング装置。独自に開発した独特のイオンソースを使用し、優れた膜厚均一性を達成します。R&D機から量産タイプまで、使用用途に応じた装置構成をご提案致します。

製造：nanoTIM Co., Ltd. / 韓国

韓国nanoTIM社の熱伝導グリスNANOTIM TGSを提案致します。
低価格で高品質なシリコン系熱伝導ジェル製品です。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

EPIX微量ガスケミカル除去フィルタは、既存のフィルタでは除去できなかったアンモニアや酸性物質等の汚染性ガスを、イオン交換による化学吸着反応を使って除去する能力を備えた画期的なケミカルフィルタです。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

シート状に加工した有機ガス除去用活性炭フィルタは、雰囲気中の有機物を高効率で除去します。さらに複合フィルタは有機ガスフィルタとイオン交換タイプのEPIXフィルタ素材とを自由に重ね合わせることで、多様なガス成分を省スペースかつ効率よく除去します。

製造：Morgan Advanced Ceramics, Inc. / 米国

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。

製造：Intevac, Inc. / 米国

米国Intevac社のハードディスク専用のスパッター装置であり、全世界で60%以上のシェアを誇るマーケットリーダー的装置です。

製造：Oryx Advanced Materials / 米国

カーボンターゲット、Crターゲット、Co系三元素ターゲットを低価格で提供致します。

製造：NAGY社 / ドイツ

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

製造：Sidrabe Inc. / ラトビア

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。