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製造：株式会社荏原製作所 / 日本

「専用モータ(水冷形バレルドモータ)」「専用インバータ」を一体開発することにより、極限までの小形化と、高機能を付加した従来にない画期的な「インバータ実装モータポンプ」です。既存・新規の用途を問わず、お客様の設備・装置の新たな可能性を追求できるポンプとなっております。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

クリーンルーム用に開発されたケミカルフィルタ搭載の自立型ファンフィルタユニット装置です。汚染物の種類・濃度に応じてケミカルフィルタの積層化が可能であり、除去能力が高く半導体/液晶製造装置または実験用のブースに接続して用いると効果的です。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

EPIX微量ガスケミカル除去フィルタは、既存のフィルタでは除去できなかったアンモニアや酸性物質等の汚染性ガスを、イオン交換による化学吸着反応を使って除去する能力を備えた画期的なケミカルフィルタです。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

シート状に加工した有機ガス除去用活性炭フィルタは、雰囲気中の有機物を高効率で除去します。さらに複合フィルタは有機ガスフィルタとイオン交換タイプのEPIXフィルタ素材とを自由に重ね合わせることで、多様なガス成分を省スペースかつ効率よく除去します。