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製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

EPIX微量ガスケミカル除去フィルタは、既存のフィルタでは除去できなかったアンモニアや酸性物質等の汚染性ガスを、イオン交換による化学吸着反応を使って除去する能力を備えた画期的なケミカルフィルタです。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

シート状に加工した有機ガス除去用活性炭フィルタは、雰囲気中の有機物を高効率で除去します。さらに複合フィルタは有機ガスフィルタとイオン交換タイプのEPIXフィルタ素材とを自由に重ね合わせることで、多様なガス成分を省スペースかつ効率よく除去します。

製造：Sidrabe Inc. / ラトビア

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。

製造：ISYS, Inc. / 韓国

韓国ISYS社製のスパッタ、HCD、アークイオンの三ソースをひとつのチャンバー内に搭載した複合型イオンプレーティング装置を提案致します。

製造：Sairon Technology, Inc. / 韓国

韓国サイロンテクノロジー社のプリズムカラーです。
±0.01dB/cmの精度で光伝搬損失を測定します。
また、サンプルを回転させながら、光複屈折率の変移を解析致します。

製造：Core Flow / イスラエル

非接触で基板を保持するエアーステージです。
電気不要、エアーのみの制御で大型基板を
ストレス無くフローティングします。
レイアウトに応じてご要望サイズ構成の
ステージを用意します。