製品

製造：Sidrabe Inc. / ラトビア

ラトビアSidrabe社は、ソ連邦真空局からスタートし歴史ある真空装置メーカで、軍事用、宇宙工学用から民生用まで幅広いノウハウを有し、すでに260台以上の真空成膜装置を出荷しております。その中でも、リチウム真空成膜装置は10年以上の経験を持ち、ご要望に応じた装置をご提案致します。

製造：INGLAS / ドイツ

Low-Eガラス、断熱材等の熱放射率を簡易かつ正確に測定いたします。

製造：Intego Vision Systems / ドイツ

ドイツIntego社が製造する太陽電池ウェハ・セル用の非接触マイクロクラック検出装置。従来の測定器では難しかった結晶粒界とマイクロクラックの識別が可能。R&D用のスタンドアローン装置から、コンベア上に検査部を統合したインラインタイプをラインアップ。

製造：Impedans / アイルランド

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

Hzfreeの基本コンセプトである省エネルギー・省スペース・ノンリーク・低騒音・清潔・省メンテナンスを更にグレードアップした製品です。さらに、インバータ実装ポンプなので流量調整が容易、煩わしい初期設定が不要となっております。

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

立形構造なので省スペース設計で設置場所を選ばず、使用液温範囲は-15～120度で使用可能、トップ・プル・アウト構造を採用することによりメンテナンスが容易となっております。
また、特殊仕様の電動機高効率形(JIS C 4212適合)にすることにより、消費電力の削減を図れます。※5.5kW以上

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

「環境配慮型」をキーワードに、羽根車及びケーシングの新規設計によりポンプハイドロ効率を高めるとともに、コントローラ一体型の高効率永久磁石形同期電動機(PMモータ)を採用することで総合効率の向上を図っています。
さらに、コントローラにより用途に合わせた各種の回転速度制御も可能となっております。

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

主要部材料はステンレスプレス製、電動機にアルミフレームを採用することにより小形・軽量化を実現しました。さらに、軸受部分には耐摩耗性に優れた超硬(タングステンカーバイト)軸受、軸封部にはSiC/SiCメカニカルシールを採用して高耐久設計となっております。

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

「専用モータ(水冷形バレルドモータ)」「専用インバータ」を一体開発することにより、極限までの小形化と、高機能を付加した従来にない画期的な「インバータ実装モータポンプ」です。既存・新規の用途を問わず、お客様の設備・装置の新たな可能性を追求できるポンプとなっております。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

クリーンルーム用に開発されたケミカルフィルタ搭載の自立型ファンフィルタユニット装置です。汚染物の種類・濃度に応じてケミカルフィルタの積層化が可能であり、除去能力が高く半導体/液晶製造装置または実験用のブースに接続して用いると効果的です。