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製造：Advanced Modular Systems, Inc / 米国

AMS社スパッタ装置（圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置）は、AlN膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜の成膜において高い面内均一性を達成。ストレス制御も可能。構成は、クラスタ装置で、基本構成で最大６チャンバー（プレクリーニング、カセットモジュール含）の統合が可能。

製造：Impedans / アイルランド

大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

製造：nTact / 米国

パテント取得の最先端技術で均一の薄膜をコーティング致します。
量産機へのスケールアップが可能です。
ガラス、樹脂、金属フォイル、ウエハ等のリジッド＆フィレキシブル基材に対応。　
FPD、OLED、PV、フィレキシブルフィルム、光学フィルム等多彩な用途にも対応。　

製造：INGLAS / ドイツ

Low-Eガラス、断熱材等の熱放射率を簡易かつ正確に測定いたします。

製造：Sidrabe Inc. / ラトビア

ラトビアSidrabe社は、ソ連邦真空局からスタートし歴史ある真空装置メーカで、軍事用、宇宙工学用から民生用まで幅広いノウハウを有し、すでに260台以上の真空成膜装置を出荷しております。その中でも、リチウム真空成膜装置は10年以上の経験を持ち、ご要望に応じた装置をご提案致します。

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

「環境配慮型」をキーワードに、羽根車及びケーシングの新規設計によりポンプハイドロ効率を高めるとともに、コントローラ一体型の高効率永久磁石形同期電動機(PMモータ)を採用することで総合効率の向上を図っています。
さらに、コントローラにより用途に合わせた各種の回転速度制御も可能となっております。

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

主要部材料はステンレスプレス製、電動機にアルミフレームを採用することにより小形・軽量化を実現しました。さらに、軸受部分には耐摩耗性に優れた超硬(タングステンカーバイト)軸受、軸封部にはSiC/SiCメカニカルシールを採用して高耐久設計となっております。

製造：株式会社荏原製作所 / 日本

「専用モータ(水冷形バレルドモータ)」「専用インバータ」を一体開発することにより、極限までの小形化と、高機能を付加した従来にない画期的な「インバータ実装モータポンプ」です。既存・新規の用途を問わず、お客様の設備・装置の新たな可能性を追求できるポンプとなっております。

製造：株式会社イー・シー・イー　（英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd) / 日本

クリーンルーム用に開発されたケミカルフィルタ搭載の自立型ファンフィルタユニット装置です。汚染物の種類・濃度に応じてケミカルフィルタの積層化が可能であり、除去能力が高く半導体/液晶製造装置または実験用のブースに接続して用いると効果的です。

製造：Impedans / アイルランド

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧